晶圓載盤 Wafer Tray - 聿光科技有限公司

ホーム » 產品服務 » 晶圓載盤 Wafer Tray

Ceramic FoRK

Wafer Tray

多孔陶瓷吸盤

Porous Ceramic Chuck

加熱陶瓷吸盤

Heater Ceramic
Chuck

Pin Chuck

Precision Ceramic

SiC Tray

（12inch Turn 8inch ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：傳送，承載，Bonding

SiC Tray

（6inch x 3 ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：CVD

SiC Tray

（4inch x 7 ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：蝕刻

SiC Tray

（4inch x 7 ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：蝕刻

SiC Tray PIN Type

（4inch x 7 ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：蝕刻

AR Tray

（4inch x 1 ）

材質：氧化鋁Al2O3
使用環境：常溫或高溫
設備：客製化設備

AR Tray

（4,6,8,12inch ）

材質：氧化鋁AL2O3
使用環境：常溫或高溫
設備：客製化設備

SiC Tray

（8inch x 1 ）

材質：碳化矽SiC
使用環境：常溫或高溫（1400℃以上可）
設備：RTA退火

© 2026 聿光科技有限公司