陶瓷手臂 Ceramic Fork - 聿光科技有限公司

ホーム » 產品服務 » 陶瓷手臂 Ceramic Fork

Ceramic FoRK

Wafer Tray

多孔陶瓷吸盤

Porous Ceramic Chuck

加熱陶瓷吸盤

Heater Ceramic
Chuck

Pin Chuck

Precision Ceramic

陶瓷晶圓手臂

Ceramic
Wafer
Hand

氧化鋁陶瓷具有很好的絕緣性，耐磨損性，
耐腐蝕性以及耐高溫性。是精密陶瓷產品中最具代表性的素材。
聿光科技使用純度99.6%以上，100%日本製進口氧化鋁陶瓷為基材。
以解決客戶產線問題，提高自動化設備產能為目標，致力於客製化產品的設計及生產。

低發塵（low particle Type）

材質：氧化鋁AL2O3

純度：99.6%

使用環境：真空或非真空環境，常溫或高溫。

採用陶瓷與特殊工程塑膠的結合方式
採用低發塵性工程塑膠，並最大面積減少與Wafer的接觸面積
可支持8inch及12inch Wafer 的平穩傳送。
高溫環境使用時可採用陶瓷一體式，並使用高耐溫環氧膠。

抗靜電鍍膜（Teflon coating Type）

材質：氧化鋁AL2O3（導電型鐵氟龍鍍膜）

純度：99.6%

使用環境：真空或非真空環境，常溫。

表面電阻10E5~10E9Ω
防止靜電產生
防止陶瓷對Wafer產生磨損，刮傷

導電陶瓷（Conductivity Type）

材質：導電陶瓷

使用環境：真空或非真空環境，常溫或高溫。

表面電阻10E6~10E8Ω
防止靜電產生
耐磨，耐腐蝕性高

碳化矽（SiC Type）

材質：碳化矽SiC

使用環境：真空或非真空環境，常溫或高溫。

表面電阻約10E8Ω
防止靜電產生
高溫下抗變形／抗拉伸
高導熱性

© 2026 聿光科技有限公司