陶瓷手臂
Ceramic Fork
精密陶瓷具備極低發塵特性，可有效避免微粒污染影響良率。同時擁有高剛性與低熱膨脹係數，在高速搬運與溫度變化環境下仍能維持優異的定位精度。
晶圓載盤
Wafer Tray
SiC具有優異的耐高溫性能與高熱導率，可在高溫製程中快速且均勻地傳導熱量，確保晶圓溫度分佈一致。
同時對氟系電漿與各類反應氣體具有極強的耐腐蝕能力。
多孔陶瓷吸盤
Porous Ceramic Chuck
氮化鋁（AlN）具有優異的熱傳導性、熱放射性（散熱性）、耐熱衝擊性與電氣絕緣性，並且擁有與矽晶圓相匹配的熱膨脹係數，是一種性能平衡良好的材料。
加熱陶瓷吸盤
Heater Ceramic Chuck
通過陶瓷內部均勻分佈的微細孔隙形成穩定且均勻吸附力，避免局部應力集中造成晶圓翹曲或破損。陶瓷材料本身具備優異的熱穩定性與低熱膨脹特性，能在加熱過程中維持平面度與尺寸穩定，確保貼合精度與製程重現性。
針式吸盤
Pin Chuck
針式吸盤主要特點為減少接觸面積並提升晶圓支撐的穩定性。其透過多點微接觸結構支撐晶圓，可有效降低背面污染與吸附痕跡，再通過高潔淨處理特別適用於對表面潔淨度要求極高的製程。
大型陶瓷治具
Precision Ceramic Jig
聿光採用高性能工程陶瓷（Al₂O₃或SiC）製作，以確保在長時間受熱與載重條件下仍能維持穩定形狀。陶瓷材料具備低熱膨脹係數，可有效抑制大面積結構因溫度變化所產生的翹曲與變形，確保貼合與對位精度。
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