SiC Screw 碳化矽螺絲

碳化矽螺絲耐熱性能好，熱膨脹係數低，在1500°C環境下使用時也不易變形。 更有耐腐蝕的特性，對在半導體製造設備中常用的 「氨水」 「雙氧水」 「氫氟酸」 「SPM」 等強腐蝕性液體的耐性較高。 可在晶圓清洗設備，離子注入設備，CVD設備，蝕刻設備等高溫環境處理設備內使用。