多孔陶瓷吸盤

由細孔構成的多孔陶瓷吸盤。

在開發多孔陶瓷之前，是通過鑽孔的方式來對應，但微小的凹痕會損壞薄膜、與超薄晶圓的電路，以致無法使用。透過使用多孔陶瓷可以改善問題，而多孔陶瓷在 CVD(薄膜)和晶片固定起作用，也被廣泛做應用。