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晶圓承載盤 TRAY
晶圓搬運手臂
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氧化鋯 AZI 部品
多孔性陶瓷部品
阻熱陶瓷部品(ARSM-L)
坩堝
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晶圓承載盤
我司有生產從小直徑晶圓載盤至 8", 12" 機台使用載盤之實績。
可依據應用、使用環境選擇材料,例如:例如 99.6% 氧化铝,碳化矽、及氧化鋯。
客製化開發,少量訂製服務,歡迎洽談。